FeCl3蚀刻是最早使用的一种用于铜及合金腐蚀的加工方法，这种方法，原料容易获得，价格便宜，配制简单，易于操作，因此这一方法曾被广泛采用，即便是现在也被较多的蚀刻厂所采用。

FeCl3对铜的蚀刻是一个氧化还原过程，在铜表面Fe3+使铜氧化成CuCl，同时Fe3+被还原成Fe2+。Cu+FeCl3＝CuCl+FeCl2，CuCl离子具有还原性，和鑫恒力蚀刻机中的Fe3+进一步反应生成CuCl2。生成的CuCl2具有氧化性，同时会与铜发生氧化还原反应：Cu+CuCl2＝2CuCl。

所以FeCl3蚀刻液是依靠FeCl3和CuCl2同时完成的。其中Fe3+的氧化能力强，蚀刻速度快，蚀刻质量好。相对而言，CuCl2在腐蚀机里蚀刻速度较慢，蚀刻质量差，随着蚀刻液中Fe3+的消耗和CuCl2的增加而使蚀刻速度逐渐减慢，并使蚀刻质量恶化。当Fe3+消耗量达50%时，蚀刻机中的腐蚀速度和蚀刻质量都将不利于继续进行蚀刻过程，而应更换蚀刻液。

在实际生产中，表示蚀刻液的蚀刻效能不是用Fe3+的消耗量来衡量，而是采用蚀刻机中铜的溶解量（单位为g/L）来衡量。铜在FeCl3蚀刻溶液中，最初蚀刻速度是恒定的。然而随着腐蚀机中Fe3+的消耗，蚀刻液中铜含量不断升高，当融铜量达到60g/L时，蚀刻速度会变慢，当蚀刻液中Fe3+消耗达到40%时或融铜量达到83g/L时，蚀刻速度会急剧下降，此时蚀刻机中的腐蚀液不能再继续使用，而应考虑蚀刻液的再生或更新。

通常使用的FeCl3蚀刻液酸度都不高，所以FeCl3蚀刻液在腐蚀铜时，也伴有FeCl3和CuCl2的水解副反应：FeCl3+3H2O＝Fe(OH)3↓+3HCL，CuCl2+2H2O＝Cu(OH)2↓+2HCL。生成的氢氧化物不稳定，受热易分解生成相对应的氧化物和水，这些氧化物一部分沉淀在蚀刻机水槽底部形成黄土样沉积物，一部分悬浮于蚀刻液中，对抗蚀层产生一定的破坏作用：2Fe(OH)3＝Fe2O3↓+3H2O，Cu(OH)2＝CuO↓+H2O。

以下为鑫恒力客户现场装机图：